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ABB OA-ICOS? GLA231

ABB OA-ICOS 氣體分析儀采用離軸積分腔輸出光譜（OAICOS）技術(shù)，能夠高精度、高靈敏度地測(cè)量HF、HCL、NH3及H2O等氣體，適用于半導(dǎo)體晶圓廠的工藝流程檢測(cè)、氣相沉積室監(jiān)測(cè)及FOUP監(jiān)測(cè)。其多氣體配置、亞ppb級(jí)濃度測(cè)量能力及優(yōu)化的數(shù)據(jù)處理···...

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詳情介紹

ABB OA-ICOS GLA231在線(xiàn)ICOS方法酸堿分析儀（離軸激光）

功能和優(yōu)勢(shì)

? 支持 HF、HCI、NH3 的單氣體或多氣體配置

? 提供高精度、準(zhǔn)確的 H2O 測(cè)量結(jié)果

? 提供 0-5V 和 4-20 mA 模擬輸出（標(biāo)配），可選Modbus TCP

? 優(yōu)化數(shù)據(jù)處理，在測(cè)量亞 ppb 級(jí)別濃度時(shí)，實(shí)現(xiàn)優(yōu)異性能

? 提供觸控?cái)?shù)字顯示屏，顯示氣體濃度和分析儀的狀態(tài)

? 提供主要密碼保護(hù)，確保分析儀和數(shù)據(jù)安全

? 優(yōu)化的零氣性能，確保可靠地確認(rèn)過(guò)程事件

? 提供可定制的校準(zhǔn)套件和性能認(rèn)證文件包

? 堅(jiān)固耐用；所需的維護(hù)工作少且花費(fèi)較低

? 可輕松更換長(zhǎng)期受到污染的部件（過(guò)濾器）和正常老化部件（泵隔膜）

? 服務(wù)工程師可現(xiàn)場(chǎng)診斷并更換其他大多數(shù)部件

? 鏡面清潔可現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行，無(wú)需在工廠費(fèi)時(shí)維修

技術(shù)參數(shù)

GLA231-EAA

項(xiàng)目（氣體）	NH?	H?O
精度 (1σ)	<1ppb (1秒) <0.3 ppb (10秒) <0.1 ppb (100秒)	<50 ppm (1秒) <20 ppm (10秒) <10 ppm (100秒)
檢測(cè)限 (LOD)	0.3 ppb (100秒)	50 ppm (100秒)
準(zhǔn)確性 *	±0.3 ppb 或讀數(shù)的5%，以較高者為準(zhǔn)	>7,000 ppm = 1% FSD
不同分析儀的結(jié)果差異（相對(duì)于平均值，10秒）	±0.4 ppb 或讀數(shù)的5%，以較高者為準(zhǔn)	≤1000 ppm = ±10%
線(xiàn)性測(cè)量范圍	高達(dá) 10,000 ppb	高達(dá) 30,000 ppm
樣品流量 (ppm)	1.4-2.4
響應(yīng)時(shí)間 (T??, T??)	10秒

GLA231-HFHC & HF

項(xiàng)目（氣體）	HCl**	HF	H?O
精度 (1σ)	<0.3 ppb (1秒) <0.1 ppb (10秒) <0.035 ppb (100秒)	<0.1 ppb (1秒) <0.05 ppb (10秒) <0.025 ppb (100秒)	<25 ppm (1秒) <10 ppm (10秒) <5 ppm (100秒)
檢測(cè)限 (LOD)	0.1 ppb (100秒)	0.075 ppm (100秒)	25 ppm (100秒)
準(zhǔn)確性 *	±0.15 ppb 或讀數(shù)的5%，以較高者為準(zhǔn)	±0.1 ppb 或讀數(shù)的5%，以較高者為準(zhǔn)	>7000 ppm = 1% FSD
不同分析儀的結(jié)果差異（相對(duì)于平均值，10秒）	±0.2 ppb 或讀數(shù)的5%，以較高者為準(zhǔn)	±0.2 ppb 或讀數(shù)的5%，以較高者為準(zhǔn)	≤ 1000 ppm = ±10%
線(xiàn)性測(cè)量范圍	高達(dá) 2,000 ppb	高達(dá) 2,000 ppb	高達(dá) 30,000 ppm
樣品流量 (ppm)	1.1-1.9
響應(yīng)時(shí)間 (T??, T??)	25秒	25秒