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化學(xué)過濾器在AMC污染物控制中的應(yīng)用

2023-09-11
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深圳市億天凈化技術(shù)有限公司

芯片是所有電子工業(yè)的基礎(chǔ),對人類社會影響極其巨大,隨著半導(dǎo)體技術(shù)不斷發(fā)展,芯片線寬尺寸不斷縮小,制程更復(fù)雜、更繁瑣,很多關(guān)鍵工藝(如光刻工藝)需要在特定的潔凈環(huán)境下進(jìn)行。除了控制常規(guī)的懸浮顆粒污染物的濃度,還需對潔凈室內(nèi)直徑更小的氣態(tài)分子污染物(AMC)濃度進(jìn)行嚴(yán)格控制。

化學(xué)過濾器在AMC污染物控制中的應(yīng)用

為了控制AMC,生產(chǎn)芯片的潔凈廠房一般會在新風(fēng)處理機(jī)組(MAU)和風(fēng)機(jī)過濾單元(FFU)上安裝化學(xué)過濾器,對潔凈廠房內(nèi)特定區(qū)域進(jìn)行相關(guān)空氣治理。

 

1.新風(fēng)處理機(jī)組(MAU)安裝化學(xué)過濾器

潔凈室的空氣過濾系統(tǒng)有一個新風(fēng)空氣處理機(jī)組,是初級空氣處理裝置,用來提供過濾的室外空氣。進(jìn)入MAU的外部空氣是由外部來源(如包含潔凈室建筑物外的空氣)提供的,外部空氣通常通過一個重要的預(yù)過濾系統(tǒng),然后空氣通過加熱、通風(fēng)和空調(diào)(HVAC)設(shè)備進(jìn)行調(diào)節(jié)。

化學(xué)過濾器在AMC污染物控制中的應(yīng)用

新風(fēng)處理機(jī)組是最直接和有效安裝化學(xué)過濾器的位置,以便控制來自凈化設(shè)施外的污染物,MAU裝置中的過濾系統(tǒng)不會影響設(shè)施內(nèi)的污染源,由于外部環(huán)境空氣僅通過這些過濾器一次,因此需要高AMC過濾效率,化學(xué)過濾器能有效去除室外空氣中的有毒有害氣體,從而保證進(jìn)入室內(nèi)的空氣達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)。

 

2.風(fēng)機(jī)過濾單元(FFU)安裝化學(xué)過濾器

在微電子行業(yè),由于對AMC的控制越來越嚴(yán)格,僅在空調(diào)箱中對 AMC控制很難達(dá)到要求。在FFU中安裝化學(xué)過濾器是一種創(chuàng)造局部超潔凈環(huán)境的方法,事實(shí)證明當(dāng)化學(xué)過濾器與FFU一起使用時,它們特別有效。FFU一般用于過濾潔凈室內(nèi)循環(huán)空氣中的氣體污染物。

化學(xué)過濾器在AMC污染物控制中的應(yīng)用

FFU化學(xué)過濾器一般安裝在FFU中HEPA/ULPA上游位置,用于有效去除AMC。根據(jù)潔凈室工作區(qū)存在的各種有害氣體,用于FFU的每個化學(xué)過濾器可以定制使用不同類型的濾料去除其相關(guān)有害氣體。

 

常用的化學(xué)過濾器

平板型化學(xué)過濾器 

平板型化學(xué)過濾器 

W型化學(xué)過濾器

W型化學(xué)過濾器

箱式化學(xué)過濾器

箱式化學(xué)過濾器

圓筒化學(xué)過濾模塊

圓筒化學(xué)過濾模塊

V型化學(xué)過濾模塊

V型化學(xué)過濾模塊

產(chǎn)品特點(diǎn)

? 安裝方便,操作簡單;

? 高效過率,比傳統(tǒng)活性炭更廣譜針對性去除氣態(tài)分子污染物;

? 低阻力,無遞增壓損,節(jié)能環(huán)保;

? 無灰塵釋放,具有一定的粉塵過濾效果;

? 改善并提高室內(nèi)空氣品質(zhì);

? 使用壽命長,通過化學(xué)反應(yīng)法去除氣態(tài)污染物,氣態(tài)污染物與濾料發(fā)生化學(xué)反應(yīng),有效杜絕空氣環(huán)境的二次污染,永久去除氣態(tài)污染物。

化學(xué)過濾器可以有效控制AMC,億天凈化一直以提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品和服務(wù)著稱,多種類型的化學(xué)過濾器通過合理的配置能達(dá)到去除污染物的最佳效果,保護(hù)敏感的電子半導(dǎo)體制程不受AMC污染物的影響,從而提高產(chǎn)品質(zhì)量,提升產(chǎn)品良率。

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