電子半導體行業(yè)的MAU機組，也稱新風機組(全外氣空氣處理機組)，工作原理是在室外抽取新鮮的空氣經過除塵、除濕（或加濕）、降溫（或升溫）等處理后通過風機送到室內，在進入室內空間時替換室內原有的空氣?？梢詫崿F對外氣的冷卻除濕、加熱加濕功能，以及全年的空氣過濾，去除有害氣體、空氣輸送等作用。

其中MAU機組空氣過濾段主要使用了化學過濾器、初效過濾器、中效過濾器和高效過濾器等來對空氣中的顆粒污染物、氣態(tài)分子污染物進行過濾。

化學過濾器

化學過濾器用于去除化學污染物(AMC)，化學過濾技術是利用特殊配置的化學過濾材料吸附污染物質，并讓污染氣體同濾料中的化學成分發(fā)生化學反應，把有毒有害的氣體污染物中和氧化成為無害的固體鹽類，從而達到去除污染氣體的目的。

主要分為： 平板型化學過濾器 、W型化學過濾器、箱式(有法蘭/無法蘭)化學過濾器、碳筒化學過濾器、插板式化學過濾器、V型化學過濾模塊等。

初效過濾器

初效板式過濾器主要初級過濾空氣塵埃粒徑(≥5.0μm)以上粗塵顆粒。一般用于通風空氣處理設備中的過濾段或新風系統(tǒng)的初級過濾，為保護下一級過濾器并延長其使用壽命而設置。

中效過濾器

中效袋式過濾器，主要用于捕集1-5μm的顆粒灰塵及各種懸浮物。主要應用于中央空調和集中送風系統(tǒng)的中級過濾及含塵量濃度較高的場所，也可用于工業(yè)領域的一般空氣凈化，作為高效過濾器的前置過濾器，以保護系統(tǒng)中下一級過濾器和系統(tǒng)本身。

高效過濾器

高效過濾器通常用于清除受控環(huán)境空氣中0.1um以上的顆?；覊m及各種懸浮物，以便提供更潔凈的室內空氣，因此，它們常用于過濾系統(tǒng)的末端。

主要分為：PTFE板式高效過濾器、有隔板高效過濾器、W型高效過濾器、無隔板高效過濾器、無隔板液槽式高效過濾器、耐高溫高效過濾器等。

過濾器的選擇是否合理、過濾效率是否達標都對系統(tǒng)滿足工藝要求和節(jié)能減排有很大的影響，億天凈化已經為全國眾多企業(yè)提供了高品質空氣過濾器。

億天凈化是集空氣質量“檢測、凈化、監(jiān)測”為一體的全鏈路數字化潔凈室解決方案提供商，從采樣-方案設計-過濾器搭配-凈化裝置匹配-檢測儀器-監(jiān)測系統(tǒng)設計等實現閉環(huán)管理，優(yōu)化工藝，實現最高效凈化。