電子行業(yè)粒子實時在線監(jiān)測系統(tǒng)除了可選擇無線監(jiān)測系統(tǒng)外，還可以采用Manifold順序粒子在線監(jiān)測系統(tǒng)，這是一個較為經(jīng)濟的方案。該系統(tǒng)配有32個采樣口（即可全選也可部分選擇使用），系統(tǒng)依次對每個監(jiān)測點進行采樣，采樣輪回周期取決于監(jiān)測點數(shù)量，最小監(jiān)測粒徑可達0.1μm。亦可搭配無線系統(tǒng)使用。

*多路監(jiān)控多達32個點的位置                    

*自凈時間短

*雙向控制能力

*多點采樣較為經(jīng)濟

*采樣管路可長達38.1米

*采樣點順序可編程

*可與流量為28.3L/min(1立方英尺)AeroTRAK便攜式粒子計數(shù)器相兼容

*綜合控制器的低復(fù)雜性

*雙向控制能力

*使用壓力傳感器以確保真空流量

*雙向步進馬達控制方向

數(shù)據(jù)實時監(jiān)控，報警

數(shù)據(jù)趨勢分析

數(shù)據(jù)報告導(dǎo)出

3級權(quán)限管控

具備后期的擴展性

支持郵件發(fā)送

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設(shè)備遠(yuǎn)程控制

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